Оборудование для выращивания кристаллов

ЗАО "Ростокс-Н" предлагает современное оборудование для выращивания оксидных кристаллов (включая сапфир).

Оборудование разработано совместно с нашим партнером ФГУП ЭЗАН.

установка НИКА М60 - для выращивания кристаллов методом Киропулоса.

установка НИКА ПРОФИЛЬ - для выращивания кристаллов методом Cтепанова (EFG)

установка НИКА 3 - для выращивания кристаллов методом Чохральского

 

Ника-М60

Автоматизированная установка для промышленного выращивания кристаллов искусственного сапфира методом Киропулоса (НИКА-М60) производства ФГУП ЭЗАН

Установка НИКА-М60 позволяет выращивать кристаллы массой до 70 кг. Отличительной особенностью установки являются прямое высокоточное взвешивание кристалла, прецизионное управление мощностью нагревателя, измерение и контроль массовой скорости кристаллизации, измерение теплопотерь через конструкционные элементы кристаллизатора и использование этих данных для оптимизации процесса кристаллизации, а также системы видеонаблюдения и измерения температуры начальной стадии процесса выращивания кристалла.

 

По техническим вопросам и вопросам приобретения оборудования обращаться к Бородину Алексею Владимировичу

тел. +7 49652 7 35 92, borodin@ezan.ac.ru

 

 

  • Температура плавления, 0С 
  • до 2200   
  • Размеры тигля для расплава (диаметр х высота), мм 
  • 300 х 450 
  • Масса кристалла, кг 
  • 70 
  • Диапазон измерения датчика веса, кг  
  • до 72
  • Чувствительность датчика веса, г  
  • не менее 1,0  
  • Скорость перемещения штока, мм/час:  
  •  от 0,1 до 3600
  • Скорость вращения штока, об/мин 
  • от 1 до 20 
  • Рабочий ход штока, мм  
  • 200 
  • Способ нагрева 
  • резистивный 
  • Установленная мощность, кВт  
  • 100 
  • Частота, Гц 
  • 50 
  • Предельный вакуум в ростовой камере, мм р. с.  
  • 1,5х10-5  
  • Расход охлаждающей воды, м3/ч 
  • не более 7 
  • Давление охлаждающей воды, кПа 
  • не менее 200

     

     

     

     

    Ника-3

    Автоматизированная установка для выращивания монокристаллов способом Чохральского (Ника-3) производства ФГУП ЭЗАН

    Многофункциональная установка НИКА-3 предназначена для выращивания широкой гаммы тугоплавких оксидных монокристаллов способом Чохральского, таких как сапфир, алюмоиттриевый гранат, танталат лития, ниобат лития, молибдат гадолиния, лангасит, ванадаты редкоземельных металлов, силикат и германат висмута и многих других.

    НИКА-3 разработана с учетом опыта эксплуатации оборудования предыдущего поколения, рекомендаций наших заказчиков, естественного прогресса технических характеристик комплектующих устройств и программного обеспечения.
    • Прямой привод ходового винта механизма вытягивания с использованием шаговых двигателей технологии НАНОШАГ (Nanostep) c разрешением до 500.000 шагов на оборот, обеспечивающий отсутствие микроускорений на малых скоростях вытягивания;
    • Использование длинноходных (550 мм) тарельчатых сильфонов для уплотнения штоков;
    • Новая механика системы взвешивания кристалла, существенно снижающая шум измерения при вращении кристалла;
    • Программное обеспечение для сквозной автоматизации процесса;
    • Комплектация установки транзисторным генератором (IGBT) мощностью 40 или 100 кВт.

    Crystal growth system Nika-3


    Технические характеристики установки:
     
  • Температура плавления
  • до 2100О С  
  • Диаметр тигля для расплава 
  • до 150 мм (в зависимости от типа выращиваемого кристалла)

  • Масса выращиваемого кристалла
  • до 4 кг; 8 кг
  • Диапазон измерения датчика веса
  • до 5 кг; 10кг
  • Чувствительность датчика веса
  • не менее 0,02 г; 0,04 г
  • Рабочий ход верхнего штока
  • 550 мм
  • Скорость перемещения верхнего штока:
  •  
             рабочая от 0,1 до 120,0 мм/ч
             ускоренная от 0,5 до 150,0 мм/мин
  • Скорость вращения верхнего штока
  • 1-100 об/мин
  • Рабочий ход нижнего штока
  • 200 мм  
  • Тип преобразователя
  • транзисторный (IGBT технология)
  • Выходная мощность преобразователя
  • 40 кВт; 100 кВт
  • Диапазон использования выходной мощности преобразователя частоты
  • от 1 до 100 % от используемой
  • Коэффициент полезного действия
  • не ниже 93%
  • Допустимое отклонение выходной мощности преобразователя частоты от установленной
  • ± 0,05%
  • Давление инертного газа в камере
  • не более 1,5х105Па
  • Предельный форвакуум в ростовой камере при выключенном индукторе
  • не более 2,6 Па
  • Потребляемая мощность установки (без преобразователя частоты)
  • не более 3 кВт
  • Давление охлаждающей воды
  • от 200 кПа до 250 кПа
     

     

    Система автоматического управления

     

    Адаптивная (самонастраивающаяся) система автоматического управления диаметром кристалла обеспечивает необходимое качество управления и устойчивость на протяжении всего процесса роста. Существенным преимуществом САУ является наличие нескольких классов автоматических регуляторов, таких как самонастраивающийся PID – регулятор, инкрементальный регулятор, самонастраивающийся предиктор-корректор, который,  как показала практика, обеспечивает наилучшее качество управления размером кристалла (диаметром слитка). Мы учитываем особенности процесса заказчика и проводим автоматизацию специальных технологических приемов и процедур.

     

    Мы учитываем особенности процесса заказчика и проводим автоматизацию специальных технологических приемов и процедур.

     

     

    Ника- М30

    Автоматизированная установка для промышленного выращивания кристаллов искусственного сапфира методом Киропулоса (НИКА-М30) производства ФГУП ЭЗАН

    Установка НИКА-М30 позволяет выращивать кристаллы массой до 30 кг. Отличительной особенностью установки являются прямое высокоточное взвешивание кристалла, прецизионное управление мощностью нагревателя, измерение и контроль массовой скорости кристаллизации, измерение теплопотерь через конструкционные элементы кристаллизатора и использование этих данных для оптимизации процесса кристаллизации, а также системы видеонаблюдения и измерения температуры начальной стадии процесса выращивания кристалла.

      
  • Температура плавления, 0С 
  • до 2200   
  • Размеры тигля для расплава (диаметр х высота), мм 
  • 250 х 300 
  • Масса кристалла, кг 
  • 30 
  • Диапазон измерения датчика веса, кг  
  • до 40
  • Чувствительность датчика веса, г  
  • не менее 1,0  
  • Скорость перемещения штока, мм/час:  
  •  от 0,1 до 3600
  • Скорость вращения штока, об/мин 
  • от 1 до 20 
  • Рабочий ход штока, мм  
  • 200 
  • Способ нагрева 
  • резистивный 
  • Установленная мощность, кВт  
  • 100 
  • Частота, Гц 
  • 50 
  • Предельный вакуум в ростовой камере, мм р. с.  
  • 5,0х10-5  
  • Расход охлаждающей воды, м3/ч 
  • не более 7 
  • Давление охлаждающей воды, кПа 
  • от 150 до 250 
     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    Буля массой 30 кг, выращенная на установке НИКА-М30
    Буля массой 30 кг, выращенная на установке НИКА-М30
    Цилиндры диаметром 2 и 4 дюйма, полученные из були массой 30 кг
    Цилиндры диаметром 2 и 4 дюйма, полученные из були массой 30 кг
     
    Цилиндр диаметром 2 дюйма, подготовленный для разрезания на пластины
    Цилиндр диаметром 2 дюйма, подготовленный для разрезания на пластины
     

    По техническим вопросам и вопросам приобретения оборудования обращаться к Бородину Алексею Владимировичу

    тел. +7 49652 7 35 92, borodin@ezan.ac.ru

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    Более подробную информацию об установках см. в разделе EQUIPMENT и на сайте ФГУП ЭЗАН www.ezan.ac.ru

     

     

    Rostox-N